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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱：
四探針測試儀器
產(chǎn)品型號：HCTZ-2S
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
所在地：北京市
更新日期：2024-01-02
產(chǎn)品簡介：
HCTZ-2S四探針測試儀器是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
產(chǎn)品特性Product characteristics
| 品牌 | 華測 |
|---|
產(chǎn)品名稱：四探針測試儀
產(chǎn)品型號：HCTZ-2S
品牌：北京華測
一、四探針測試儀器產(chǎn)品介紹
HCTZ-2S四探針測試儀器是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
HCTZ-2S雙電測數(shù)字式四探針試驗儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，采用兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，提高精確度，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。
四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針試驗儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
二、四探針測試探頭
1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承，量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運動，持久耐磨，測量精度高、重復(fù)性好。
A.探頭間距1.00㎜
B.探針機械游率：±0.3%
C.探針直徑0.5㎜
E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。
2、手動測試架
手動測試架探頭上下由手動操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測試，探針頭可上下移動距離：120mm，測試臺面200x200(mm)。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
HCTZ-2S四探針試驗儀采用四探針雙電測量方法，本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。采用精度高的AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配備不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。
四、產(chǎn)品特點
1.TVS瞬間抑制防護技術(shù)： 華測的TVS瞬間抑制防護技術(shù)，將起到對控制系統(tǒng)的防護。
2.本儀器的特點是主機配置三個數(shù)字表，在測量電阻率的同時，一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全程的電流變化，更及時掌控測量電流，一塊顯示2、3探針間的測量電壓，另一塊是顯示當(dāng)前1、4探針測量使用的電壓，可以適當(dāng)調(diào)整測量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測材料。
3.主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護薄膜。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗干擾的屏蔽。
4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金，硬度高、常溫不生銹，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和度。本機如加配測量軟件，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。
5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能，可進(jìn)行電壓、電流。
6.儀器通過USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接，軟件可對四探針電阻率測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲格式，顯示變化曲線，
7.測試系統(tǒng)的軟件平臺hcpro，采用labview系統(tǒng)開發(fā)，符合導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料的各項測試需求，具備穩(wěn)定性和安全性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料可保存恢復(fù)。兼容XP、win7、win10系統(tǒng)。
五、軟件功能
具有試驗電壓設(shè)置功能；
可選擇試驗標(biāo)準(zhǔn)
可選擇是否自定義或自動試驗
截止條件：時間/電壓/電流;
語音提示:可選擇是否語音提示功能。
統(tǒng)計報告：可自定報表格式
可生出PDF、CSV、XLS文件格式
分析功能：可對測試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計。大/小值、平均值等。
六、技術(shù)參數(shù)
測量范圍
電 阻：1×10-4~2×105Ω， 分辨率：1×10-5~1×102Ω
電阻率：1×10-4~2×105Ω-cm， 分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm
方 阻：5×10-4~2×105Ω/□， 分辨率：5×10-5~1×102Ω/□
數(shù)字電壓表
量程：20.00mV~2000mV
誤差：±0.1%讀數(shù)±2字
數(shù)控恒流源
量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA,1A
誤差：±0.1%讀數(shù)±2字
四探針探頭
碳化鎢探針：Ф0.5mm，直流探針間距1.0mm，探針壓力：0~2kg可調(diào)
薄膜方阻探針：Ф0.7mm，直流或方形探針間距2.0mm，探針壓力：0~0.6kg可調(diào)
七、注意事項
1、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量
3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測試結(jié)束，套好護套，避免人為斷針。
